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Das Geschäftsfeld umfasst die Entwicklung und Anwendung von Mess- und Prüftechniken für die Elektronik, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie sowie die Entwicklung und Fertigung mikroelektronischer Komponenten für Mess- und Prüfverfahren. Es ist auf den Bedarf von Kunden aus den Bereichen Entwicklung, Herstellung und Anwendung von neuen Materialien, Werkstoffen mit Beschichtungen und Mikro- und Nanosystemen ausgerichtet. Mit innovativen Prüf- und Messsystemen können die Qualität der Produkte garantiert und die Qualitätskosten der Fertigung gesenkt werden, was zu Wettbewerbsvorteilen für den Kunden führt. Produkte und Dienstleistungen des Geschäftsfelds sind:
- zerstörungsfreie, überwiegend hochauflösende Analyse von Werkstoffzuständen mit Methoden der Strahlungsdiagnose (Röntgen-, Neutronen-, Laser-, Infrarot-Techniken etc.);
Röntgenprüfung von Netzwerkknoten eines Zustands-überwachungssystemes, entwickelt im IZFP
- mikroskopische Verfahren zur Mikro- und Nanostrukturcharakterisierung (Rasterkraftmikroskopie mit / ohne Ultraschallanregung – AFAM, Focussed Ion Beam (FIB)-Techniken, Elektronenmikroskopie – SEM u. a.)
- akustische Diagnose von Werkstoffen und Prozessen mit aktivem Ultraschall, Schallemission und Signaturanalyse
- optische Techniken zur 3-D-Vermessung im Mikro- und Nanobereich, Oberflächen- und Schichtcharakterisierung sowie zur Materialcharakterisierung
- röntgenographische Eigenspannungs- und Texturmessungen mit hoher Ortsauflösung
- Prüftechnik für Nano-Strukturen (nano-CT, nano-Raman).
Zur weiteren Entwicklung des Geschäftsfelds ist es erforderlich, die Kooperationsbeziehungen mit den europäischen Halbleiterfirmen und Anbietern von Messsystemen auszubauen sowie diese in das sich gegenwärtig etablierende europäische Netzwerk »Mikro- und Nano-Zuverlässigkeit« zu integrieren. Die Weiterentwicklung der Produkte und Dienstleistungen betrifft u. a.:
- die Schaffung von vereinheitlichten Zellen und Plattformen, um Sensoriklösungen aus einer Hand anbieten zu können
- die Entwicklung einer einheitlichen Plattform für ZfP-Module, Systeme für ZfP-Lösungen – beispielsweise Phased-Array-Systeme – unterschiedlicher Konfiguration sowie Schall- und Überwachungstechniken bestehend aus einheitlichen Hardwaremodulen und entsprechenden Softwaremodulen. Diese sind an Kundenanforderungen anpassbar. Darüber hinaus besteht ein weiterer Schwerpunkt für die zukünftige Entwicklung in der Charakterisierung von Schichten und hier besonders dünner Schichten.
- Es ist vorgesehen, gemeinsam mit dem Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) ein Demonstrationszentrum für die Charakterisierung dünner Schichten aufzubauen. Hier wird sich das Fraunhofer IZFP mit geeigneter Gerätetechnik und wissenschaftlichem Personal beteiligen. Die Koordination des Zentrums wird beim IWS liegen. Dieses »nanolab« wird dafür Sorge tragen, dass Fachleute aus dem Bereich Beschichtungs- und Oberflächentechnologie mit den neusten ZfP-Verfahren vertraut gemacht werden.
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